干式真空泵在日常使用中必須注意維護。事實上，干式真空泵的維護材料與其他機器相同，通常需要注意特點和功能，這樣可以更好地維護。干式真空泵要確保其他雜物不進入泵體。如果有固體雜物進入泵體，會損壞干式真空泵的橡膠材料定子，所以雜物不能進入泵體這個問題是非常重要的。有些人在泵前安裝粉碎機，相應的設備格柵設備或濾網，以防止雜物進入干式真空泵，但是格柵應及時定期清洗，以免造成堵塞。

　　干式真空泵不允許在斷料現象下工作，一旦發生，橡膠定子會因干摩擦和瞬間高溫而燒壞。破碎機無缺，格柵疏通則是干式真空泵正常運行的必要條件。有些干式真空泵在泵體上設有斷料和停機裝置，斷料時，由于干式真空泵本身具有自吸功能，真空會發生在室內，真空裝置會使干式真空泵間歇運行。

　　干式真空泵是一種容積式逆轉泵，當出口端受阻時，壓力將逐漸上升到超出預定壓力值的程度。此時，電機的負荷急劇增加渦流泵。傳動機械設備相關部件的負荷超過計劃值，嚴重時發生電機焚燒和傳動部件破裂。為了避免干式真空泵損壞，通常會在干式真空泵出口設備旁邊溢出流閥，以穩定出口壓力，設備的正常運行。