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    干式真空泵的五種形式

    时间:2021-05-28     作者:淄博沃德氣體設備有限公司   阅读

          干式真空泵的非常廣泛,五種形式都與它有一定的關系,不知道你們對這五種形式了解多少,不了解也沒關系,本文就介紹這五種形式的知識給大家。

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      一、雙圓裂片式。

      雙圓裂片式多級結構使氣路結構更加復雜,每一級都需要流量較大的氮作為稀釋和隔離劑。與此同時,為了獲得良好的真空度,對各個級別的間隙要求都很嚴格。這一設計當然是因為增加了內部壓縮比,所以能耗相對較低。

      二、三片圓裂片式。

      三圓裂片式設計與上述形式設計的原理相同,只是將氣體分成三份,只需旋轉一圈,而不像雙圓裂片式分成兩份。為進一步降低電力消耗,在傳動部分有些廠家選擇了兩臺直流電機,但是這也會導致轉矩降低,重啟能力下降。

      三、組合形式(羅茨+爪子)

      組合(羅茨+爪子)設計采用羅茨提高低壓抽氣效率,而采用爪子提高高壓抽氣效率。原理和氣路與前面介紹的圓裂片設計相同。又有一些廠家把它的最后一級改為了星型設計,這樣可以在一圈旋轉中把氣體分成五份,就像三圓片的設計可以把它分成三份。

      四、外部壓縮型螺桿式

      外接壓縮式螺紋設計,采用一對等間距螺紋。這樣可以將內部壓縮降至最低,同時使氣體的路徑最短,也最簡單。通過這種方式,氣體在泵內停留時間也最短。這種設計在復雜的半導體工藝中顯示了很好的穩定性。

      五、內部壓縮型螺桿式

      不斷減少螺桿之間的體積使螺桿內部產生壓縮。許多生產過程中,這種內部壓縮類似于多級泵,很容易導致氣體在泵內發生物理和化學變化,從而產生固化或液化。

      在以上介紹中,我們了解了干式真空泵的五種形式,在以后的使用過程中,我們可以根據自己的需要進行選擇。


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