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    干式真空泵的介紹。

    时间:2021-05-10     作者:淄博沃德氣體設備有限公司   阅读

    無油干式機械真空泵(也稱為干式機械泵)是指一種機械真空泵,其泵可以從大氣壓力開始泵送空氣,并將泵送的空氣直接排放到大氣中。泵腔內無油或其他工作介質,泵的極限壓力與油封真空泵相同或接近。

    干式真空泵.jpg

    目前真空行業使用的機械真空泵大多采用油、水或其他聚合物作為泵的工作介質,具有冷卻、、密封、、潤滑等多種功能。隨著科學技術的發展和真空應用領域的擴大,原機械真空泵及其抽真空系統存在兩個需要解決的問題:一是泵的工作介質回流污染抽吸容器,往往影響產品質量,增加設備維護成本。其次,真空泵中的介質由于一些工藝過程中的反應物質而嚴重變質,使泵無法正常工作。

    對于常見的無油真空系統,雖然可以使用油封真空泵和冷阱或吸附阱等附件來防止回流,但不能完全解決問題,系統復雜。采用不同類型的干式機械真空泵,可取得理想的應用效果。

    干機械真空泵的應用十分廣泛,主要有以下幾點。

    (1) 除了半導體技術,產生顆粒的技術不想把顆;烊氡糜椭,而是想把顆粒排出泵,一定型號的干式機械真空泵可以滿足要求。

    (2)半導體蝕刻技術。在這些生產技術中,經常使用或生成腐蝕性氣體和研磨粒子。

    (3)低壓化學氣相沉積多晶硅制備技術。

    (4)用作一般無油清潔真空系統的前級泵,防止油污。

    (5) 化學,醫藥,食品工業蒸餾,干燥,脫泡,包裝等,防止有機溶劑污染,適用于干式真空泵。


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